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配资网維修爪式泵的特點

日期:2018-8-15 11:12:25 人氣:

配资网維修爪式泵的特點


爪式泵是为半導體工业發展而研制的,它有如下一些特點:

1)泵腔内無潤滑劑,因而無返油現象發生;

2)抽氣原件为非接觸式的可實現高速運轉(3000r/min);

3)與被抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損;

4)在泵腔内氣流垂直運动,少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除;

5)該泵型式多樣,功能可以擴展,泵的主體,帶有齒輪、馬达以及氣體淨化設備,附件有入口處防反流的閥門,出口處有截流閥,

電氣監控及報警裝置;

6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑,上端蓋内的軸承用PFPE油脂潤滑;

7)第二、三、四級均有淨化氣體入口,以改善被抽介質順利通過泵腔,無此需要的可以不用通淨化氣體,淨化氣體用三個流量計分

别調節,相互都是獨立的,以保证節約惰性氣體,利用三個電磁閥可微調其流量;

8)入口防返流閥能将被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能将泵的出口封閉起来,将泵通以淨化氣體,这些閥可自动開關,真空系

統有可靠的保護,杜絕了向真空室的返流;

9)電氣監控與操作,主要有電源,遠距離操作和開關閥等的控制。

當泵出現故障時泵能自动停車,兩個閥門一齊關閉或截流閥關閉。动力和遙控有一台變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,以

滿足監控過程的需要。动力電源、繼電器用以對馬达的接通與斷開及馬达超負荷的保護。操作過程有顯示器,有按鈕控制,可控制

馬达、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥,第二、三、四級的淨化氣體的通斷閥,惰性氣體的主閥,淨化氣體向軸封處通氣用的

閥門等。故障的監控報警或停車,系統安全自动控制,也可按鈕控制。啟动時,打開淨化氣體,泵正常運行3min,淨化氣體向各段

湧入,通淨化氣體對泵性能有些影響。每當遇到緊急情況可按自动停車鍵,淨化氣體繼續接通,關閉入口防返流閥,各級泵淨化

1min,淨化結束,馬达再停車,關閉惰性氣體截止閥。

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